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昊華科技:現有三氟化氮產能5000噸/年 應用于集成電路制造的蝕刻、清洗等環節

每日經濟新聞 2025-11-25 17:33:42

每經AI快訊,11月25日,昊華科技在互動平臺表示,公司現有三氟化氮產能5000噸/年,公司正在四川自貢沿灘基地新建6000噸/年三氟化氮項目,項目一期3000噸裝置已投產。公司三氟化氮產品主要應用于集成電路制造的蝕刻、清洗等環節。

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