固高科技： 前道設備這部分的營收目前規模不大，整體上仍處于批量應用部署前期

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：董秘您好，公司的部件、系統在整個半導體設備的多個工藝單元設備中都在做積極推進，相對而言，后道設備進展較快，整體上進入市場批量部署階段。前道設備中的應用推進相對滯后一些，整體上仍處于批量應用部署前期，目前這部分的營收規模也不大。請問在半導體前道設備中的應用，這部署前期營收規模不大的部分，，請問具體是前道光刻設備的應用還是蝕刻、清洗應用。謝謝！請解釋具體一些，麻煩了，

固高科技（301510.SZ）9月19日在投資者互動平臺表示，半導體加工工藝復雜，前道加工主要包括光刻、蝕刻、清洗、沉積等，另外晶硅生長、硅片加工相關設備也歸類為前道設備。 公司的部件、系統類產品在前道加工的多個工藝節點設備在做積極的嘗試與應用拓展。 前道設備這部分的營收目前規模不大，整體上仍處于批量應用部署前期，請投資者謹慎評估相關風險。

(記者 蔡鼎)

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